6月18日消息,據國外媒體報道,韓國企業SK Materials日前表示,已啟動用于半導體生產工序的氟化氫氣體的量產,推進半導體材料國產化。
氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場,日本廠商大約占據8至9成份額。
SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產。該公司表示,實現量產的氟化氫氣體達到被稱為“5個9”的純度,即99.999%,不過品質仍低于日本廠商產品。
SK Materials還透露,三星電子和SK海力士將采用公司產品。
SK Materials生產銷售半導體, 顯示器, 太陽能電池等領域的核心材料, 并提供相關配套服務, 從而致力于物聯網, 大數據, 無人駕駛等未來信息技術 (IT) 產業的發展。
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